주식회사 에이치시티

Clean Room

クリーンルーム委託管理

クリーンルーム

今後のクリーンルームの性能評価、
専門的な管理に備えなければなりません。

産業技術の高集積化により生産に直間接的に投入される人材、環境、設備原資材、Utilityなどは
適切な仕様に合わせて最適な状態を維持する必要があります。空気中の浮遊粒子を管理し制御する
目的とするクリーンルームに対する自律的な品質管理は、生産歩留まり向上及び技術競争力を強化し、
対外的に品質に対する信頼性も保証されます。韓国空気清浄協会が主管する団体品質認証
「クリーンルーム性能評価」の施行が差し迫った今、皆さんのクリーンルーム環境は適正管理になっていますか？

サービス手順

性能評価プロセス

ステップ1

受付

Clean Room 3社のビジネスリクエスト
生産製品の性能評価要求
定期クリーンルーム評価リクエスト

ステップ2

現場確認

Clean Room 詳細な位置と簡略図
クリーンルームの設計条件
製品・評価場所の確認

ステップ3

性能評価

パーティクル/温湿度/差圧
お客様の要請による項目の追加

ステップ4

成績書の発行

適合時の試験成績書の作成及び発行
環境改善ポイント提案

サービス項目

クリーンルームソリューションと 技術能力

クリーンルーム環境の最適化

ルーム環境測定と巡回チェック
Issue関連対応
異常発生の現場検証
三次元気流分析による根本原因の特定

C/R 巡回検証

オンライン監視

AMCコントロール

環境検証

コア機器の性能保証

機器内部のFFUと環境検証(T.A.B)
機器駆動時の環境リアルタイムモニタリング
Ionizer/静電気レベルの精密評価

ミニ環境

Wafer露出環境の検証

ESD粒子吸着防止

P/カウンター & S/Com

FMS

安定したFMSシステムの構築と保守
測定機器の信頼性定期評価
FMS Issue発生時の即時緊急対応

システム管理

リアルタイム分析

総合環境評価

P/カウンター & S/Com

Ionizerと静電気の管理

ESDA視点の静電気汚染制御
Ionizer性能の精密評価と改善
静電気制御（Control）とテスト

Ionizerの性能評価

ESD粒子吸着防止

Room/機器環境評価

微細汚染の評価と分析

安定したFMSシステムの構築と保守
測定機器の信頼性定期評価
FMS Issue発生時の即時緊急対応

システム管理

リアルタイム分析

総合環境評価

P/カウンター & S/Com

詳細な技術サービス

クリーンルーム環境

オンライン監視

リアルタイム分析とシステム管理

タブ

総合環境評価

C/R 巡回検証

環境検証

機器内部環境

ミニ環境

Wafer露出環境の検証
- P/カウンター & S/Com

Ionizerの性能評価

ESD粒子吸着防止
- Room/機器

ユーティリティ品質

DIW品質

超純水品質検証
- 18M DIWモニタリング

化学金属トレンド

メタル濃度評価
- DIW / H2O2 / NH4OH

ECCB

職人技監査

変更点 Control 及び作業者、工事等の
問題

環境評価

変更点エリア環境汚染の評価

技術能力: 01
三次元気流分析とCFDシミュレーション

クリーンルーム内の気流が停滞したり、渦が発生する箇所を正確に把握し、汚染源の拡散を防ぎ、最適な空調システム効率を維持します。

三次元気流分析装置
最先端の3次元超音波風速計
現場の気流を精密に実測します。

CFDシミュレーション
計算流体力学（CFD）シミュレーションを通じて
機器の配置変更や新規工事時に発生する可能性
気流の変化を事前に予測してコントラスト

02
パーティクルと空気汚染成分の分析

汚染度を測定することを超えて、発生した汚染物質の成分を精密に分析し、汚染源のソースを追跡し、根本的な解決策を提示します。